超光滑光學(xué)表面（優(yōu)于1nm）在光刻、強(qiáng)激光和激光探測應(yīng)用上有非常重要的意義。超光滑表面加工技術(shù)從某種意義上講是一種“超級”拋光技術(shù)。拋光是超光滑表面加工的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
常見超光滑拋光技術(shù)：
√ 浴法拋光（Bowel-Feed Polishing）
√ 聚四氟乙烯拋光（Teflon）
√ 浮法拋光（Float Polishing）
√ 磁流變拋光（MRF）
√ 離子束拋光（IBF）
浴法拋光（Bowel-Feed Polishing）
浴法拋光是把光學(xué)工件沉入拋光液，通過懸浮的拋光磨料研磨工件表面，從而獲得超光滑表面。選用適配的磨料、保持拋光盤與工件面形吻合等是獲得超光滑表面的重要因素。
下面是幾種典型的玻璃材料獲得的拋光結(jié)果：
F4：粗糙度0.8nm
BK-7：粗糙度0.4nm
熔石英：粗糙度0.3nm
Zerodur M：粗糙度0.25nm
聚四氟乙烯（Teflon）拋光
聚四氟乙烯拋光盤具有抗老化、耐磨損、可長時(shí)間保持面形等優(yōu)點(diǎn)，既可用于傳統(tǒng)拋光又可用于浴法拋光。其關(guān)鍵在于拋光盤的制作。
下面是幾種典型的玻璃材料獲得的拋光結(jié)果：
F4：粗糙度0.4nm
BK-7光學(xué)玻璃：粗糙度0.1nm
Homosil 熔石英：粗糙度0.3nm
Zerodur M：粗糙度0.2nm
浮法拋光（Float Polishing）
浮法拋光是以錫盤為拋光盤，采用浴式拋光方式的加工方法。它是一種非接觸式拋光方法，機(jī)床主軸轉(zhuǎn)動精度要求很高且轉(zhuǎn)速較快，一般為60~200rpm，是目前所有超光滑表面加工技術(shù)中加工工件表面粗糙度最小的方法。
磁流變拋光（MRF）
磁流變拋光是電磁理論、流體力學(xué)、分析化學(xué)等應(yīng)用于光學(xué)制造而形成的一項(xiàng)綜合技術(shù)，其實(shí)質(zhì)是一種計(jì)算機(jī)控制小磨頭拋光技術(shù)，只是這里的磨頭不是傳統(tǒng)意義上的磨頭，而是由磁流變拋光液在磁場作用下形成的“柔性”磨頭，其形狀和硬度可以由磁場實(shí)時(shí)控制。
離子束拋光（IBF）
離子束拋光技術(shù)是利用具有一定能量的惰性氣體離子束流轟擊材料表面，通過離子與工件表面的原子碰撞，傳遞動能和能量，使得一部分原子被剝離工件表面，形成對工件表面材料的去除。離子束拋光一般用來對工件表面進(jìn)行精確的面形修正，需要將工件預(yù)拋光到一定精度，然后進(jìn)行離子束拋光。
咨詢電話：135 2207 9385
